更新時間: 2022-04-22
產品型號: Model 4010L
所 在 地: 北京市朝陽區望京西園222號星源國際D座1503室
產品特點: 稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM;源氣質量流量計可控制到0-100SCCM;4路校準氣入口和1路吹掃口;1路稀釋氣入口,5路輸出口和1路排空口
共創共贏
產品概述
稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM;
源氣質量流量計可控制到0-100SCCM;
4路校準氣入口和1路吹掃口;
1路稀釋氣入口,5路輸出口和1路排空口
稀釋入口:1路標準;
源氣入口:4路標準,1路吹掃;
稀釋氣質量流量控制:0-10SLM(0-20SLM可選);
源氣氣質量流量控制:0-100SCCM/0-2SLM;
流量精度:≤±1%FS;
流量重復:≤±0.15%FS;
線 性:≤±0.5%FS;
入口壓力:20-35 PSIG;
多路輸出:標準6個輸出口;
可選件:內置臭氧發生器
5SLPM下0.05-1.5ppm;1%SP或5SLPM下2ppb
紫外吸收光度計
量程:0-0.5,1.0,2.0ppm
內置滲透管氣體發生器
內置臭氧發生器參數:
輸出:5SLPM下0.05-1.5ppm;
精度:1%SP或5SLPM下2ppb;
流量:100±1 SCCM;
內置紫外吸收光度計參數:
量程:0-0.5,1.0,2.0ppm;
線性:±1ppb或±1%FS;
精度:±1ppb;
內置滲透爐參數:
材質:玻璃或特氟龍;
內置臭氧發生器參數:
輸出:5SLPM下0.05-1.5ppm;
精度:1%SP或5SLPM下2ppb;
流量:100±1 SCCM;
內置紫外吸收光度計參數:
量程:0-0.5,1.0,2.0ppm;
線性:±1ppb或±1%FS;
精度:±1ppb;
內置滲透爐參數:
材質:玻璃或特氟龍;